SrTiO3 기판
설명
SrTiO3 단결정은 페로브스카이트 구조 물질의 격자 구조가 좋습니다.HTS 및 대부분의 산화막의 에피택시 성장을 위한 탁월한 기판 재료입니다.고온 초전도 박막 연구에 널리 사용되었습니다.또한 특수 광학창 및 고품질 스퍼터링 타겟에도 널리 사용됩니다.
속성
방향: (100) +/-0.5 Deg
가장자리 방향 표시: <001> +/-2 Deg는 추가 비용으로 옵션으로 사용 가능
광택: CMP 기술로 표면 아래 격자 손상이 적은 한쪽 EPI를 광택 처리했습니다.
팩: 1000등급 클린룸에서 100등급 비닐봉지에 포장됩니다.
| 결정 구조 | 큐빅, a=3.905A |
| 성장 방법 | 베르누이 |
| 밀도(g/cm23) | 5.175 |
| 녹는점(℃) | 2080 |
| 경도(모) | 6 |
| 열 팽창 | 10.4(x10-6/ ℃) |
| 유전 상수 | ~ 300 |
| 10GHz에서의 손실 탄젠트 | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| 색상 및 외관 | 투명함(어닐링 상태에 따라 약간 갈색이 되는 경우도 있음). 쌍생아 없음 |
| 화학적 안정성 | 물에 불용성 |
SrTiO3 기판 정의
SrTiO3 기판은 티탄산스트론튬(SrTiO3) 화합물로 만들어진 결정질 기판을 말합니다.SrTiO3는 입방정 결정 구조를 갖는 페로브스카이트 물질로, 높은 유전율, 높은 열 안정성 및 다른 많은 물질과의 우수한 격자 정합을 특징으로 합니다.
SrTiO3 기판은 박막 증착 및 에피택셜 성장 분야에서 널리 사용됩니다.SrTiO3의 입방체 구조는 결정질이 우수하고 결함밀도가 낮은 고품질의 박막 성장이 가능합니다.이로 인해 SrTiO3 기판은 다양한 응용 분야에서 에피택셜 필름과 이종 구조를 성장시키는 데 매우 적합합니다.
SrTiO3의 유전율이 높기 때문에 커패시터, 메모리 장치, 강유전성 박막과 같은 응용 분야에 적합합니다.열 안정성으로 인해 고온 응용 분야에 적합합니다.
또한 SrTiO3는 저온에서의 금속 전도도, 초전도 상태 유도 가능성 등 다양한 특성으로 인해 응집 물질 물리학 연구와 전자 및 광전자 장치 개발에 유용합니다.
요약하면, SrTiO3 기판은 스트론튬 티타네이트로 만들어진 결정질 기판으로, 높은 유전 상수, 열 안정성 및 우수한 격자 정합 특성으로 인해 박막 증착, 에피택셜 성장, 광범위한 전자 및 광전자 응용 분야에 일반적으로 사용됩니다.
