MgF2 기판
설명
MgF2는 110nm~7.5μm 파장에 대한 렌즈, 프리즘 및 창으로 사용됩니다.193nm에서 투과율이 좋아 ArF 엑시머 레이저용 윈도우로 가장 적합한 소재입니다.자외선 영역의 광학 편광으로도 효과적입니다.
속성
| 밀도(g/cm23) | 3.18 |
| 녹는점(℃) | 1255 |
| 열 전도성 | 300K에서 0.3Wm-1K-1 |
| 열 팽창 | 13.7 x 10-6 /℃ 평행 c축 8.9 x 10-6 /℃ 수직 c축 |
| 누프 경도 | 100g 인덴터 포함 415(kg/mm2) |
| 비열 용량 | 1003J/(kg.k) |
| 유전 상수 | 1MHz 병렬 c축에서 1.87 1MHz 수직 c축에서 1.45 |
| 영률(E) | 138.5GPa |
| 전단 계수(G) | 54.66GPa |
| 벌크 계수(K) | 101.32GPa |
| 탄성계수 | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| 겉보기 탄성한계 | 49.6MPa(7200psi) |
| 푸아송비 | 0.276 |
MgF2 기판 정의
MgF2 기판은 불화마그네슘(MgF2) 결정 물질로 만들어진 기판을 의미합니다.MgF2는 마그네슘(Mg)과 불소(F) 원소로 구성된 무기 화합물입니다.
MgF2 기판은 다양한 응용 분야, 특히 광학 및 박막 증착 분야에서 널리 사용되는 몇 가지 주목할만한 특성을 가지고 있습니다.
1. 높은 투명성: MgF2는 전자기 스펙트럼의 자외선(UV), 가시광선 및 적외선(IR) 영역에서 탁월한 투명성을 갖습니다.약 115nm의 자외선부터 약 7,500nm의 적외선까지 넓은 투과 범위를 가지고 있습니다.
2. 낮은 굴절률: MgF2는 상대적으로 낮은 굴절률을 갖고 있어 원치 않는 반사를 최소화하고 광 투과율을 향상시켜 AR 코팅 및 광학에 이상적인 소재입니다.
3. 낮은 흡수: MgF2는 자외선 및 가시광선 스펙트럼 영역에서 낮은 흡수를 나타냅니다.이러한 특성은 렌즈, 프리즘, 자외선 또는 가시 광선용 창과 같이 높은 광학 선명도가 필요한 응용 분야에 유용합니다.
4. 화학적 안정성: MgF2는 화학적으로 안정하고 광범위한 화학물질에 내성이 있으며 광범위한 환경 조건에서 광학적, 물리적 특성을 유지합니다.
5. 열 안정성: MgF2는 녹는점이 높으며 심각한 열화 없이 높은 작동 온도를 견딜 수 있습니다.
MgF2 기판은 다양한 장치 및 시스템의 광학 코팅, 박막 증착 공정, 광학 창 또는 렌즈에 일반적으로 사용됩니다.또한 반도체 재료나 금속 코팅과 같은 다른 박막의 성장을 위한 완충층이나 템플릿 역할을 할 수도 있습니다.
이러한 기판은 일반적으로 MgF2 재료가 적합한 기판 재료에 증착되거나 단결정으로 성장되는 증기 증착 또는 물리적 증기 수송 방법과 같은 기술을 사용하여 생산됩니다.응용 분야 요구 사항에 따라 기판은 웨이퍼, 플레이트 또는 맞춤형 모양의 형태가 될 수 있습니다.
