LiAlO2 기판
설명
LiAlO2는 우수한 필름 결정 기판입니다.
속성
결정 구조 | M4 |
단위 셀 상수 | a=5.17A c=6.26A |
녹는점(℃) | 1900 |
밀도(g/cm23) | 2.62 |
경도(모) | 7.5 |
세련 | 싱글 또는 더블 또는 없음 |
크리스탈 방향 | <100> <001> |
LiAlO2 기판 정의
LiAlO2 기판은 리튬알루미늄산화물(LiAlO2)로 이루어진 기판을 말한다.LiAlO2는 공간군 R3m에 속하는 결정성 화합물로 삼각형의 결정구조를 가지고 있다.
LiAlO2 기판은 전자, 광전자, 광전자 장치용 박막 성장, 에피택셜 층, 헤테로구조 등 다양한 응용 분야에 사용되었습니다.우수한 물리적, 화학적 특성으로 인해 특히 와이드 밴드갭 반도체 소자 개발에 적합합니다.
LiAlO2 기판의 주요 응용 분야 중 하나는 HEMT(고전자 이동도 트랜지스터) 및 LED(발광 다이오드)와 같은 질화 갈륨(GaN) 기반 장치 분야입니다.LiAlO2와 GaN 사이의 격자 불일치는 상대적으로 작기 때문에 GaN 박막의 에피택셜 성장에 적합한 기판입니다.LiAlO2 기판은 GaN 증착을 위한 고품질 템플릿을 제공하여 장치 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.
LiAlO2 기판은 메모리 소자용 강유전성 물질 성장, 압전소자 개발, 전고체 배터리 제조 등 다른 분야에도 사용된다.높은 열 전도성, 우수한 기계적 안정성, 낮은 유전 상수와 같은 고유한 특성은 이러한 응용 분야에서 이점을 제공합니다.
요약하면, LiAlO2 기판은 리튬알루미늄 산화물로 만들어진 기판을 말한다.LiAlO2 기판은 다양한 응용 분야, 특히 GaN 기반 장치의 성장과 기타 전자, 광전자 및 광자 장치 개발에 사용됩니다.이들은 박막 및 이종 구조의 증착에 적합하고 장치 성능을 향상시키는 바람직한 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다.